Holographic voltage profiling on 75 nm gate architecture CMOS devices. | Ultramicroscopy;94(3-4): 277-81, 2003 Apr. | MEDLINE

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Holographic voltage profiling on 75 nm gate architecture CMOS devices.

Thesen, Alexander E; Frost, Bernhard G; Joy, David C.

Afiliação

Thesen AE; Department of Physics, 401 Nielson Physics Bldg., University of Tennessee, Knoxville 37996, USA. athesen@utk.edu

Ultramicroscopy ; 94(3-4): 277-81, 2003 Apr.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-12524197

Assuntos

Holografia/métodos; Microscopia Eletrônica de Varredura/métodos; Eletricidade; Transistores Eletrônicos

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Bases de dados: MEDLINE Assunto principal: Holografia / Microscopia Eletrônica de Varredura Idioma: En Revista: Ultramicroscopy Ano de publicação: 2003 Tipo de documento: Article País de afiliação: Estados Unidos

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