Fabrication process of carbon nanotube field effect transistors using atomic layer deposition passivation for biosensors.

Nakashima, Yasuhiro; Ohno, Yutaka; Kishimoto, Shigeru; Okochi, Mina; Honda, Hiroyuki; Mizutani, Takashi

Nakashima, Yasuhiro; Ohno, Yutaka; Kishimoto, Shigeru; Okochi, Mina; Honda, Hiroyuki; Mizutani, Takashi.

Afiliação

Nakashima Y; Department of Quantum Engineering, Nagoya University, Furo-cho, Chikusaku, Nagoya 464-8603, Japan.

J Nanosci Nanotechnol ; 10(6): 3805-9, 2010 Jun.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-20355371

Assuntos

Técnicas Biossensoriais/instrumentação; Nanotubos de Carbono/química; Nanotubos de Carbono/ultraestrutura; Transistores Eletrônicos; Cristalização/métodos; Desenho de Equipamento; Análise de Falha de Equipamento; Substâncias Macromoleculares/química; Teste de Materiais; Conformação Molecular; Nanotecnologia/métodos; Tamanho da Partícula; Propriedades de Superfície

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Bases de dados: MEDLINE Assunto principal: Transistores Eletrônicos / Técnicas Biossensoriais / Nanotubos de Carbono Tipo de estudo: Evaluation_studies Idioma: En Revista: J Nanosci Nanotechnol Ano de publicação: 2010 Tipo de documento: Article País de afiliação: Japão

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