Direct nanopatterning of 100 nm metal oxide periodic structures by Deep-UV immersion lithography.

Stehlin, Fabrice; Bourgin, Yannick; Spangenberg, Arnaud; Jourlin, Yves; Parriaux, Olivier; Reynaud, Stéphanie; Wieder, Fernand; Soppera, Olivier

Stehlin, Fabrice; Bourgin, Yannick; Spangenberg, Arnaud; Jourlin, Yves; Parriaux, Olivier; Reynaud, Stéphanie; Wieder, Fernand; Soppera, Olivier.

Afiliação

Stehlin F; Institut de Science des Matériaux de Mulhouse (IS2M), CNRS LRC 7228, Université de Haute Alsace, 15 rue Jean Starcky, Mulhouse, France.

Opt Lett ; 37(22): 4651-3, 2012 Nov 15.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-23164868

Assuntos

1-Propanol/química; Nanotecnologia/métodos; Óxidos/química; Impressão/métodos; Raios Ultravioleta; Zircônio/química; Interferometria

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Bases de dados: MEDLINE Assunto principal: Óxidos / Impressão / Raios Ultravioleta / Zircônio / Nanotecnologia / 1-Propanol Tipo de estudo: Clinical_trials Idioma: En Revista: Opt Lett Ano de publicação: 2012 Tipo de documento: Article País de afiliação: França

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