Quantitative temperature measurement of multi-layered semiconductor devices using spectroscopic thermoreflectance microscopy.
Opt Express
; 24(13): 13906-16, 2016 Jun 27.
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1
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MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Opt Express
Assunto da revista:
OFTALMOLOGIA
Ano de publicação:
2016
Tipo de documento:
Article