A micromachined vibration isolation system for reducing the vibration sensitivity of surface transverse wave resonators.
IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control
; 45(2): 528-34, 1998.
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em En
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| ID: mdl-18244203
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1
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Tipo de estudo:
Diagnostic_studies
Idioma:
En
Ano de publicação:
1998
Tipo de documento:
Article