Two-dimensional displacement measurement by quasi-common-optical-path heterodyne grating interferometer.

Hsieh, Hung-Lin; Chen, Jyh-Chen; Lerondel, Gilles; Lee, Ju-Yi.

Afiliação

Hsieh HL; Department of Mechanical Engineering, National Central University, 300 Jhongda Road, Jhongli City, Taoyuan County 320, Taiwan.

Opt Express ; 19(10): 9770-82, 2011 May 09.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-21643234

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2011 Tipo de documento: Article

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