Ultra-thin alumina and silicon nitride MEMS fabricated membranes for the electron multiplication.

Prodanovic, V; Chan, H W; Graaf, H V D; Sarro, P M.

Afiliação

Prodanovic V; Electronic Components, Technology and Materials (ECTM), Delft University of Technology, Delft, The Netherlands. National Institute for Subatomic Physics (Nikhef), Amsterdam, The Netherlands.

Nanotechnology ; 29(15): 155703, 2018 Apr 02.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-29388919

Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2018 Tipo de documento: Article

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