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Single-Digit Nanometer Electron-Beam Lithography with an Aberration-Corrected Scanning Transmission Electron Microscope.
Camino, Fernando E; Manfrinato, Vitor R; Stein, Aaron; Zhang, Lihua; Lu, Ming; Stach, Eric A; Black, Charles T.
Afiliação
  • Camino FE; Center for Functional Nanomaterials, Brookhaven National Laboratory; fcamino@bnl.gov.
  • Manfrinato VR; Center for Functional Nanomaterials, Brookhaven National Laboratory.
  • Stein A; Center for Functional Nanomaterials, Brookhaven National Laboratory.
  • Zhang L; Center for Functional Nanomaterials, Brookhaven National Laboratory.
  • Lu M; Center for Functional Nanomaterials, Brookhaven National Laboratory.
  • Stach EA; Center for Functional Nanomaterials, Brookhaven National Laboratory.
  • Black CT; Center for Functional Nanomaterials, Brookhaven National Laboratory; ctblack@bnl.gov.
J Vis Exp ; (139)2018 09 14.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-30272655
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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Tomografia Computadorizada por Raios X / Microscopia Eletrônica de Transmissão / Nanopartículas Idioma: En Ano de publicação: 2018 Tipo de documento: Article
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