Arrays of suspended silicon nanowires defined by ion beam implantation: mechanical coupling and combination with CMOS technology.

Llobet, J; Rius, G; Chuquitarqui, A; Borrisé, X; Koops, R; van Veghel, M; Perez-Murano, F.

Afiliación

Llobet J; Institute of Microelectronics of Barcelona (IMB-CNM, CSIC), E-08193 Bellaterra, Spain. International Iberian Nanotechnology Laboratory (INL), 4715-330 Braga, Portugal.

Nanotechnology ; 29(15): 155303, 2018 Apr 02.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-29388920

Texto completo: 1 Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Año: 2018 Tipo del documento: Article

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