Silicon nanocolumns on nanosphere lithography templated substrates: effects of sphere size and substrate temperature.

Patzig, Christian; Fuhrmann, Bodo; Leipner, Hartmut S; Rauschenbach, Bernd.

Afiliación

Patzig C; Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V., Permoserstrasse 15, 04318 Leipzig, Germany.

J Nanosci Nanotechnol ; 9(3): 1985-91, 2009 Mar.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-19435070

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Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: J Nanosci Nanotechnol Año: 2009 Tipo del documento: Article

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