Frequency calibration in the ArF excimer laser-tuning range using laser-induced fluorescence of NO.
Appl Opt
; 30(36): 5229-34, 1991 Dec 20.
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| ID: mdl-20717350
Texto completo:
1
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MEDLINE
Tipo de estudio:
Prognostic_studies
Idioma:
En
Revista:
Appl Opt
Año:
1991
Tipo del documento:
Article