Phase-conjugate holographic lithography based on micromirror array recording.

Lim, Yongjun; Hahn, Joonku; Lee, Byoungho.

Afiliación

Lim Y; National Creative Research Center for Active Plasmonics Application Systems, Inter-University Semiconductor Research Center and School of Electrical Engineering, Seoul National University, Gwanak-Gu Gwanakro 1, Seoul 151-744, South Korea.

Appl Opt ; 50(34): H68-74, 2011 Dec 01.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-22193029

Texto completo: 1 Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Appl Opt Año: 2011 Tipo del documento: Article

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