Single-step spatial rotation error separation technique for the ultraprecision measurement of surface profiles.

Hou, Maosheng; Qiu, Lirong; Zhao, Weiqian; Wang, Fan; Liu, Entao; Ji, Lin.

Appl Opt ; 53(3): 487-95, 2014 Jan 20.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-24514137

Texto completo: 1 Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Appl Opt Año: 2014 Tipo del documento: Article

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