An interferometric scanning microwave microscope and calibration method for sub-fF microwave measurements.

Dargent, T; Haddadi, K; Lasri, T; Clément, N; Ducatteau, D; Legrand, B; Tanbakuchi, H; Theron, D

Dargent, T; Haddadi, K; Lasri, T; Clément, N; Ducatteau, D; Legrand, B; Tanbakuchi, H; Theron, D.

Afiliación

Dargent T; Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520∕University of Lille 1, Avenue Poincaré, CS 60069, 59652 Villeneuve d'Ascq, France.
Haddadi K; Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520∕University of Lille 1, Avenue Poincaré, CS 60069, 59652 Villeneuve d'Ascq, France.
Lasri T; Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520∕University of Lille 1, Avenue Poincaré, CS 60069, 59652 Villeneuve d'Ascq, France.
Clément N; Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520∕University of Lille 1, Avenue Poincaré, CS 60069, 59652 Villeneuve d'Ascq, France.
Ducatteau D; Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520∕University of Lille 1, Avenue Poincaré, CS 60069, 59652 Villeneuve d'Ascq, France.
Legrand B; Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520∕University of Lille 1, Avenue Poincaré, CS 60069, 59652 Villeneuve d'Ascq, France.
Tanbakuchi H; Agilent Technologies, 1400 Fountaingrove Parkway, Santa Rosa, California 95403, USA.
Theron D; Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie, CNRS UMR 8520∕University of Lille 1, Avenue Poincaré, CS 60069, 59652 Villeneuve d'Ascq, France.

Rev Sci Instrum ; 84(12): 123705, 2013 Dec.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-24387439

Texto completo

Imprimir

XML

PubMed Links

Buscar en Google

Texto completo: 1 Banco de datos: MEDLINE Tipo de estudio: Prognostic_studies Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Año: 2013 Tipo del documento: Article País de afiliación: Francia

Texto completo

Imprimir

XML

PubMed Links

Buscar en Google