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Scanning Micro-Mirror with an Electrostatic Spring for Compensation of Hard-Spring Nonlinearity.
Izawa, Takashi; Sasaki, Takashi; Hane, Kazuhiro.
Afiliación
  • Izawa T; Department of Finemechanics, Tohoku University, Aramaki-aza Aoba 6-6-01, Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan. takashi.izawa@aisin.co.jp.
  • Sasaki T; Department of Finemechanics, Tohoku University, Aramaki-aza Aoba 6-6-01, Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan. t_sasaki@hane.mech.tohoku.ac.jp.
  • Hane K; Department of Finemechanics, Tohoku University, Aramaki-aza Aoba 6-6-01, Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan. hane2@hane.mech.tohoku.ac.jp.
Micromachines (Basel) ; 8(8)2017 Aug 04.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-30400431
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Texto completo: 1 Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Micromachines (Basel) Año: 2017 Tipo del documento: Article País de afiliación: Japón
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