High quality stealth dicing of sapphire with a picosecond Bessel beam by controlling the polarization direction.

Zhang, Decheng; Yang, Jianjun; Liu, Jiaxuan; Shui, Lingling; Pan, Xinjian; Li, Yuqian.

Appl Opt ; 62(29): 7873-7880, 2023 Oct 10.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-37855499

Texto completo: 1 Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Appl Opt Año: 2023 Tipo del documento: Article

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