Method for real-time critical dimensions signature monitoring and control: sensor, actuator, and experimental results. | Rev Sci Instrum;84(1): 015116, 2013 Jan. | MEDLINE

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Method for real-time critical dimensions signature monitoring and control: sensor, actuator, and experimental results.

Ngo, Yit Sung; Ang, Kar Tien; Tay, Arthur.

Afiliación

Ngo YS; Department of Electrical and Computer Engineering, National University of Singapore, 4 Engineering Drive 3, Singapore 117576.

Rev Sci Instrum ; 84(1): 015116, 2013 Jan.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-23387704

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Banco de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Año: 2013 Tipo del documento: Article

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