Four-quadrant gratings moiré fringe alignment measurement in proximity lithography. | Opt Express;21(3): 3463-73, 2013 Feb 11. | MEDLINE

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Four-quadrant gratings moiré fringe alignment measurement in proximity lithography.

Zhu, Jiangping; Hu, Song; Yu, Junsheng; Zhou, Shaolin; Tang, Yan; Zhong, Min; Zhao, Lixin; Chen, Minyong; Li, Lanlan; He, Yu; Jiang, Wei.

Afiliação

Zhu J; Institution of Optics & Electronics, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China.

Opt Express ; 21(3): 3463-73, 2013 Feb 11.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-23481804

Assuntos

Iluminação/métodos; Refratometria/instrumentação; Refratometria/métodos; Desenho de Equipamento; Análise de Falha de Equipamento

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Texto completo: 1 Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Refratometria / Iluminação Idioma: En Ano de publicação: 2013 Tipo de documento: Article País de afiliação: China

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