Design and synthesis of a photoaromatization-based two-stage photobase generator for pitch division lithography. | J Org Chem;78(5): 1730-4, 2013 Mar 01. | MEDLINE

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Design and synthesis of a photoaromatization-based two-stage photobase generator for pitch division lithography.

Hagiwara, Yuji; Mesch, Ryan A; Kawakami, Takanori; Okazaki, Masahiro; Jockusch, Steffen; Li, Yongjun; Turro, Nicholas J; Grant Willson, C.

Afiliação

Hagiwara Y; Department of Chemistry, The University of Texas at Austin, Austin, Texas 78712, United States.

J Org Chem ; 78(5): 1730-4, 2013 Mar 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-23113563

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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Tipo de estudo: Prognostic_studies Idioma: En Revista: J Org Chem Ano de publicação: 2013 Tipo de documento: Article País de afiliação: Estados Unidos

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