Customized Thinning of Silicon-based Neural Probes Down to 2 µm.
Annu Int Conf IEEE Eng Med Biol Soc
; 2020: 3388-3392, 2020 07.
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em En
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| ID: mdl-33018731
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1
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01-internacional
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Assunto principal:
Silício
/
Fenômenos Mecânicos
Idioma:
En
Revista:
Annu Int Conf IEEE Eng Med Biol Soc
Ano de publicação:
2020
Tipo de documento:
Article