RESUMO
Images with a spatial resolution of 120-150 nm were obtained with 46.9 nm light from a compact capillary-discharge laser by use of the combination of a Sc-Si multilayer-coated Schwarzschild condenser and a free-standing imaging zone plate. The results are relevant to the development of compact extreme-ultraviolet laser-based imaging tools for nanoscience and nanotechnology.
Assuntos
Aumento da Imagem/instrumentação , Interpretação de Imagem Assistida por Computador/métodos , Lasers , Microscopia Confocal/instrumentação , Nanotecnologia/instrumentação , Processamento de Sinais Assistido por Computador/instrumentação , Raios Ultravioleta , Desenho de Equipamento , Análise de Falha de Equipamento , Aumento da Imagem/métodos , Interpretação de Imagem Assistida por Computador/instrumentação , Microscopia Confocal/métodos , Nanotecnologia/métodosRESUMO
We report the demonstration of reflection mode imaging of 100 nm-scale features using 46.9 nm light from a compact capillary-discharge laser. Our imaging system employs a Sc/Si multilayer coated Schwarzschild condenser and a freestanding zone plate objective. The reported results advance the development of practical and readily available surface and nanostructure imaging tools based on the use of compact sources of extreme ultraviolet light.