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Effect of Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition on Oxygen Overabundance and Its Influence on the Morphological, Optical, Structural, and Mechanical Properties of Al-Doped TiO2 Coating.
Chiappim, William; Testoni, Giorgio; Miranda, Felipe; Fraga, Mariana; Furlan, Humber; Saravia, David Ardiles; Sobrinho, Argemiro da Silva; Petraconi, Gilberto; Maciel, Homero; Pessoa, Rodrigo.
Affiliation
  • Chiappim W; Laboratório de Plasmas e Processos, Instituto Tecnológico de Aeronáutica, Praça Marechal Eduardo Gomes 50, São José dos Campos 12228-900, Brazil.
  • Testoni G; i3N, Departamento de Física, Universidade de Aveiro, Campus Universitário de Santiago, 3810-193 Aveiro, Portugal.
  • Miranda F; Laboratório de Plasmas e Processos, Instituto Tecnológico de Aeronáutica, Praça Marechal Eduardo Gomes 50, São José dos Campos 12228-900, Brazil.
  • Fraga M; Laboratório de Plasmas e Processos, Instituto Tecnológico de Aeronáutica, Praça Marechal Eduardo Gomes 50, São José dos Campos 12228-900, Brazil.
  • Furlan H; Instituto de Ciência e Tecnologia, Universidade Federal de São Paulo, Rua Talim 330, São José dos Campos 12231-280, Brazil.
  • Saravia DA; Centro Estadual de Educação Tecnológica Paula Souza, Programa de Pós-Graduação em Gestão e Tecnologia em Sistemas Produtivos, São Paulo 01124-010, Brazil.
  • Sobrinho ADS; Laboratoire TIMA, Université Grenoble Alpes, 38000 Grenoble, France.
  • Petraconi G; Laboratório de Plasmas e Processos, Instituto Tecnológico de Aeronáutica, Praça Marechal Eduardo Gomes 50, São José dos Campos 12228-900, Brazil.
  • Maciel H; Laboratório de Plasmas e Processos, Instituto Tecnológico de Aeronáutica, Praça Marechal Eduardo Gomes 50, São José dos Campos 12228-900, Brazil.
  • Pessoa R; Laboratório de Plasmas e Processos, Instituto Tecnológico de Aeronáutica, Praça Marechal Eduardo Gomes 50, São José dos Campos 12228-900, Brazil.
Micromachines (Basel) ; 12(6)2021 May 21.
Article in En | MEDLINE | ID: mdl-34063804
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Full text: 1 Collection: 01-internacional Database: MEDLINE Language: En Journal: Micromachines (Basel) Year: 2021 Document type: Article Affiliation country: Brasil Country of publication: Suiza
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