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Interface Electrical Properties of Al2O3 Thin Films on Graphene Obtained by Atomic Layer Deposition with an in Situ Seedlike Layer.
Fisichella, Gabriele; Schilirò, Emanuela; Di Franco, Salvatore; Fiorenza, Patrick; Lo Nigro, Raffaella; Roccaforte, Fabrizio; Ravesi, Sebastiano; Giannazzo, Filippo.
Affiliation
  • Fisichella G; Consiglio Nazionale delle Ricerche, Istituto per la Microelettronica e Microsistemi , Strada VIII, n. 5, Zona Industriale, 95121 Catania, Italy.
  • Schilirò E; Consiglio Nazionale delle Ricerche, Istituto per la Microelettronica e Microsistemi , Strada VIII, n. 5, Zona Industriale, 95121 Catania, Italy.
  • Di Franco S; Consiglio Nazionale delle Ricerche, Istituto per la Microelettronica e Microsistemi , Strada VIII, n. 5, Zona Industriale, 95121 Catania, Italy.
  • Fiorenza P; Consiglio Nazionale delle Ricerche, Istituto per la Microelettronica e Microsistemi , Strada VIII, n. 5, Zona Industriale, 95121 Catania, Italy.
  • Lo Nigro R; Consiglio Nazionale delle Ricerche, Istituto per la Microelettronica e Microsistemi , Strada VIII, n. 5, Zona Industriale, 95121 Catania, Italy.
  • Roccaforte F; Consiglio Nazionale delle Ricerche, Istituto per la Microelettronica e Microsistemi , Strada VIII, n. 5, Zona Industriale, 95121 Catania, Italy.
  • Ravesi S; STMicroelectronics , Stradale Primosole 50, Zona Industriale, 95121 Catania, Italy.
  • Giannazzo F; Consiglio Nazionale delle Ricerche, Istituto per la Microelettronica e Microsistemi , Strada VIII, n. 5, Zona Industriale, 95121 Catania, Italy.
ACS Appl Mater Interfaces ; 9(8): 7761-7771, 2017 Mar 01.
Article in En | MEDLINE | ID: mdl-28135063
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Full text: 1 Collection: 01-internacional Database: MEDLINE Language: En Journal: ACS Appl Mater Interfaces Journal subject: BIOTECNOLOGIA / ENGENHARIA BIOMEDICA Year: 2017 Document type: Article Affiliation country: Italy
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