Ultrathin fullerene films as high-resolution molecular resists for low-voltage electron-beam lithography. | Small;2(8-9): 1003-6, 2006 Aug. | MEDLINE

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Ultrathin fullerene films as high-resolution molecular resists for low-voltage electron-beam lithography.

Gibbons, Francis P; Robinson, Alex P G; Palmer, Richard E; Manickam, Mayanditheuar; Preece, Jon A.

Afiliación

Gibbons FP; Nanoscale Physics Research Laboratory, School of Physics and Astronomy, The University of Birmingham, Edgbaston, Birmingham B15 2TT, UK. francis@nprl.ph.bham.ac.uk

Small ; 2(8-9): 1003-6, 2006 Aug.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-17193158

Asunto(s)

Electrónica; Fulerenos

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Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Asunto principal: Fulerenos / Electrónica Idioma: En Revista: Small Asunto de la revista: ENGENHARIA BIOMEDICA Año: 2006 Tipo del documento: Article País de afiliación: Reino Unido Pais de publicación: Alemania

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