Accuracy of the spring constant of atomic force microscopy cantilevers by finite element method.

Chen, Bo-Yi; Yeh, Meng-Kao; Tai, Nyan-Hwa

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Accuracy of the spring constant of atomic force microscopy cantilevers by finite element method.

Chen, Bo-Yi; Yeh, Meng-Kao; Tai, Nyan-Hwa.

Afiliación

Chen BY; Department of Power Mechanical Engineering and Department of Materials Science and Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013 Taiwan, Republic of China.

Anal Chem ; 79(4): 1333-8, 2007 Feb 15.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-17297931

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Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Anal Chem Año: 2007 Tipo del documento: Article País de afiliación: China Pais de publicación: Estados Unidos

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