Soft x-ray lithography using radiation from laser-produced plasmas.
Appl Opt
; 24(13): 2024, 1985 Jul 01.
Article
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| ID: mdl-18223832
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Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Appl Opt
Año:
1985
Tipo del documento:
Article
Pais de publicación:
EEUU
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