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Performance enhancement of semiconductor devices by control of discrete dopant distribution.
Hori, M; Shinada, T; Taira, K; Shimamoto, N; Tanii, T; Endo, T; Ohdomari, I.
Afiliación
  • Hori M; Graduate School of Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku, Tokyo 165-8555, Japan.
Nanotechnology ; 20(36): 365205, 2009 Sep 09.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-19687545
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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Nanotechnology Año: 2009 Tipo del documento: Article País de afiliación: Japón Pais de publicación: Reino Unido
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