Proximity-compensated blazed transmission grating manufacture with direct-writing, electron-beam lithography.
Appl Opt
; 33(1): 103-7, 1994 Jan 01.
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en En
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| ID: mdl-20861995
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Appl Opt
Año:
1994
Tipo del documento:
Article
Pais de publicación:
Estados Unidos