Electro-mechanical coupling in shear-mode FBAR with piezoelectric modulated thin film.

Milyutin, Evgeny; Muralt, Paul

Milyutin, Evgeny; Muralt, Paul.

IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control ; 58(4): 685-8, 2011 Apr.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-21507745

Asunto(s)

Acústica/instrumentación; Electroquímica/instrumentación; Análisis de Elementos Finitos; Sistemas Microelectromecánicos/instrumentación; Simulación por Computador; Electrodos; Diseño de Equipo/instrumentación; Membranas Artificiales; Transductores; Vibración

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Asunto principal: Acústica / Análisis de Elementos Finitos / Electroquímica / Sistemas Microelectromecánicos Tipo de estudio: Prognostic_studies Idioma: En Revista: IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control Asunto de la revista: MEDICINA NUCLEAR Año: 2011 Tipo del documento: Article

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