Low-loss silicon slot waveguides and couplers fabricated with optical lithography and atomic layer deposition.

Säynätjoki, A; Karvonen, L; Alasaarela, T; Tu, X; Liow, T Y; Hiltunen, M; Tervonen, A; Lo, G Q; Honkanen, S

Säynätjoki, A; Karvonen, L; Alasaarela, T; Tu, X; Liow, T Y; Hiltunen, M; Tervonen, A; Lo, G Q; Honkanen, S.

Afiliación

Säynätjoki A; Aalto University, School of Electrical Engineering, Espoo, Finland. antti.saynatjoki@aalto.fi

Opt Express ; 19(27): 26275-82, 2011 Dec 19.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-22274212

Asunto(s)

Diseño Asistido por Computadora; Dispositivos Ópticos; Refractometría/instrumentación; Silicio/química; Resonancia por Plasmón de Superficie/instrumentación; Transferencia de Energía; Diseño de Equipo; Análisis de Falla de Equipo; Fotograbar/métodos

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Asunto principal: Refractometría / Silicio / Diseño Asistido por Computadora / Resonancia por Plasmón de Superficie / Dispositivos Ópticos Tipo de estudio: Clinical_trials Idioma: En Revista: Opt Express Asunto de la revista: OFTALMOLOGIA Año: 2011 Tipo del documento: Article País de afiliación: Finlandia Pais de publicación: Estados Unidos

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