Enhanced lithographic imaging layer meets semiconductor manufacturing specification a decade early.
Adv Mater
; 24(19): 2608-13, 2012 May 15.
Article
en En
| MEDLINE
| ID: mdl-22488639
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Asunto principal:
Semiconductores
Idioma:
En
Revista:
Adv Mater
Asunto de la revista:
BIOFISICA
/
QUIMICA
Año:
2012
Tipo del documento:
Article
País de afiliación:
Estados Unidos