Chemical and structural investigation of high-resolution patterning with HafSO(x).
ACS Appl Mater Interfaces
; 6(4): 2917-21, 2014 Feb 26.
Article
en En
| MEDLINE
| ID: mdl-24502280
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
ACS Appl Mater Interfaces
Asunto de la revista:
BIOTECNOLOGIA
/
ENGENHARIA BIOMEDICA
Año:
2014
Tipo del documento:
Article
País de afiliación:
Estados Unidos