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Three-dimensional surface figure measurement of high-accuracy spherical mirror with nanoprofiler using normal vector tracing method.
Kudo, R; Okuda, K; Usuki, K; Nakano, M; Yamamura, K; Endo, K.
Afiliación
  • Kudo R; Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan.
  • Okuda K; Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan.
  • Usuki K; Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan.
  • Nakano M; Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan.
  • Yamamura K; Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan.
  • Endo K; Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan.
Rev Sci Instrum ; 85(4): 045101, 2014 Apr.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-24784653
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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Asunto principal: Algoritmos / Modelos Teóricos Idioma: En Revista: Rev Sci Instrum Año: 2014 Tipo del documento: Article País de afiliación: Japón Pais de publicación: Estados Unidos
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