High-efficiency and wideband interlayer grating couplers in multilayer Si/SiO2/SiN platform for 3D integration of optical functionalities.
Opt Express
; 22(14): 16767-77, 2014 Jul 14.
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| ID: mdl-25090495
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Opt Express
Asunto de la revista:
OFTALMOLOGIA
Año:
2014
Tipo del documento:
Article
Pais de publicación:
Estados Unidos