Simple Thermal-Efficiency Model for CMOS-Microhotplate Design. | J Res Natl Inst Stand Technol;111(3): 243-53, 2006. | MEDLINE

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Simple Thermal-Efficiency Model for CMOS-Microhotplate Design.

Geist, Jon; Afridi, M Yaqub; Varma, Ankush; Hefner, Allen R.

Afiliación

Geist J; National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD 20899.
Afridi MY; National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD 20899.
Varma A; National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD 20899.
Hefner AR; National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD 20899.

J Res Natl Inst Stand Technol ; 111(3): 243-53, 2006.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-27274932

Palabras clave

CMOS; MEMS; low-voltage; microhotplate; model; sub-micron

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: J Res Natl Inst Stand Technol Año: 2006 Tipo del documento: Article Pais de publicación: Estados Unidos

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