Gas-cluster ion sputtering: Effect on organic layer morphology. | J Vac Sci Technol A;36(5): 051507, 2018 Sep. | MEDLINE

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Gas-cluster ion sputtering: Effect on organic layer morphology.

Goodwin, Christopher M; Voras, Zachary E; Beebe, Thomas P.

Afiliación

Goodwin CM; Department of Chemistry and Biochemistry, University of Delaware, Newark, Delaware 19716.
Voras ZE; Department of Chemistry and Biochemistry, University of Delaware, Newark, Delaware 19716.
Beebe TP; Department of Chemistry and Biochemistry, University of Delaware, Newark, Delaware 19716.

J Vac Sci Technol A ; 36(5): 051507, 2018 Sep.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-30078936

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: J Vac Sci Technol A Año: 2018 Tipo del documento: Article Pais de publicación: Estados Unidos

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