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Electrical and Structural Properties of the Partial Ternary Thin-Film System Ni-Si-B.
Wambach, Matthias; Nguyen, Nam; Hamann, Sven; Nishio, Mitsuaki; Yagyu, Shinjiro; Chikyow, Toyohiro; Ludwig, Alfred.
Afiliación
  • Wambach M; Chair of MEMS Materials, Institute for Materials, Faculty of Mechanical Engineering , Ruhr-University Bochum , Universitaetsstrasse 150 , D-44801 Bochum , Germany.
  • Nguyen N; Nano-Elecronics Materials Unit, International Center for Materials Nanoarchitectonics MANA , National Institute for Materials Science NIMS , 1-1 Namiki Tsukuba , Ibaraki 305-0044 , Japan.
  • Hamann S; Chair of MEMS Materials, Institute for Materials, Faculty of Mechanical Engineering , Ruhr-University Bochum , Universitaetsstrasse 150 , D-44801 Bochum , Germany.
  • Nishio M; Materials Analysis Station , National Institute for Materials Science NIMS , 1-2-1 Sengen , Tsukuba , Ibaraki 305-0047 , Japan.
  • Yagyu S; Nano-Elecronics Materials Unit, International Center for Materials Nanoarchitectonics MANA , National Institute for Materials Science NIMS , 1-1 Namiki Tsukuba , Ibaraki 305-0044 , Japan.
  • Chikyow T; Nano-Elecronics Materials Unit, International Center for Materials Nanoarchitectonics MANA , National Institute for Materials Science NIMS , 1-1 Namiki Tsukuba , Ibaraki 305-0044 , Japan.
  • Ludwig A; Chair of MEMS Materials, Institute for Materials, Faculty of Mechanical Engineering , Ruhr-University Bochum , Universitaetsstrasse 150 , D-44801 Bochum , Germany.
ACS Comb Sci ; 21(4): 310-315, 2019 04 08.
Article en En | MEDLINE | ID: mdl-30790519
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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Asunto principal: Silicio / Boro / Conductividad Eléctrica / Níquel Idioma: En Revista: ACS Comb Sci Año: 2019 Tipo del documento: Article País de afiliación: Alemania Pais de publicación: Estados Unidos
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