Process-dependent mechanical and optical properties of nanostructured silicon carbonitride thin films. | Nanotechnology;30(31): 314003, 2019 Aug 02. | MEDLINE

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Process-dependent mechanical and optical properties of nanostructured silicon carbonitride thin films.

Khatami, Zahra; Simpson, Peter J; Mascher, Peter.

Afiliación

Khatami Z; Department of Engineering Physics and Centre for Emerging Device Technologies, McMaster University, Hamilton, Ontario, L8S 4L7, Canada. Department of Physics, University of New Brunswick, Fredericton, New Brunswick, E3B 5A3, Canada.

Nanotechnology ; 30(31): 314003, 2019 Aug 02.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-30970339

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Nanotechnology Año: 2019 Tipo del documento: Article País de afiliación: Canadá Pais de publicación: Reino Unido

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