Development of a soft UV-NIL step&repeat and lift-off process chain for high speed metal nanomesh fabrication. | Nanotechnology;31(34): 345301, 2020 Aug 21. | MEDLINE

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Development of a soft UV-NIL step&repeat and lift-off process chain for high speed metal nanomesh fabrication.

Haslinger, M J; Mitteramskogler, T; Kopp, S; Leichtfried, H; Messerschmidt, M; Thesen, M W; Mühlberger, M.

Afiliación

Haslinger MJ; Functional Surfaces and Nanostructures, PROFACTOR GmbH, Steyr-Gleink 4407, Austria. Institute of Applied Physics, Johannes Kepler University, Linz 4040, Austria.

Nanotechnology ; 31(34): 345301, 2020 Aug 21.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-32380487

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Nanotechnology Año: 2020 Tipo del documento: Article País de afiliación: Austria

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