Development of a soft UV-NIL step&repeat and lift-off process chain for high speed metal nanomesh fabrication.
Nanotechnology
; 31(34): 345301, 2020 Aug 21.
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| ID: mdl-32380487
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
Nanotechnology
Año:
2020
Tipo del documento:
Article
País de afiliación:
Austria