High Energy Performance Ferroelectric (Ba,Sr)(Zr,Ti)O3 Film Capacitors Integrated on Si at 400 °C.
ACS Appl Mater Interfaces
; 13(19): 22717-22727, 2021 May 19.
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| ID: mdl-33956442
Texto completo:
1
Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Idioma:
En
Revista:
ACS Appl Mater Interfaces
Asunto de la revista:
BIOTECNOLOGIA
/
ENGENHARIA BIOMEDICA
Año:
2021
Tipo del documento:
Article
País de afiliación:
China
Pais de publicación:
Estados Unidos