Structuring of Si into Multiple Scales by Metal-Assisted Chemical Etching. | Adv Mater;33(47): e2005932, 2021 Nov. | MEDLINE

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Structuring of Si into Multiple Scales by Metal-Assisted Chemical Etching.

Srivastava, Ravi P; Khang, Dahl-Young.

Afiliación

Srivastava RP; Soft Electronic Materials and Devices Laboratory, Department of Materials Science and Engineering, Yonsei University, Seoul, 03722, Korea.
Khang DY; Soft Electronic Materials and Devices Laboratory, Department of Materials Science and Engineering, Yonsei University, Seoul, 03722, Korea.

Adv Mater ; 33(47): e2005932, 2021 Nov.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-34013605

Palabras clave

Si bulk micromachining; Si nanostructures; mass transport; metal-assisted chemical etching

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Adv Mater Asunto de la revista: BIOFISICA / QUIMICA Año: 2021 Tipo del documento: Article Pais de publicación: Alemania

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