AFM Study of Roughness Development during ToF-SIMS Depth Profiling of Multilayers with a Cs<sup>+</sup> Ion Beam in a H<sub>2</sub> Atmosphere. | Langmuir;38(42): 12871-12880, 2022 Oct 25. | MEDLINE

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AFM Study of Roughness Development during ToF-SIMS Depth Profiling of Multilayers with a Cs⁺ Ion Beam in a H₂ Atmosphere.

Ekar, Jernej; Kovac, Janez.

Afiliación

Ekar J; Jozef Stefan Institute, Jamova Cesta 39, SI-1000 Ljubljana, Slovenia.
Kovac J; Jozef Stefan International Postgraduate School, Jamova Cesta 39, SI-1000 Ljubljana, Slovenia.

Langmuir ; 38(42): 12871-12880, 2022 Oct 25.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-36239688

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Idioma: En Revista: Langmuir Asunto de la revista: QUIMICA Año: 2022 Tipo del documento: Article País de afiliación: Eslovenia Pais de publicación: Estados Unidos

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