Thin-film PMUTs: a review of over 40 years of research. | Microsyst Nanoeng;9: 95, 2023. | MEDLINE

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Thin-film PMUTs: a review of over 40 years of research.

Roy, Kaustav; Lee, Joshua En-Yuan; Lee, Chengkuo.

Afiliación

Roy K; Department of Electrical and Computer Engineering, National University of Singapore, Singapore, 117583 Singapore.
Lee JE; Center for Intelligent Sensor and MEMS (CISM), National University of Singapore, Singapore, 117608 Singapore.
Lee C; Institute of Microelectronics, A*STAR, Singapore, 117685 Singapore.

Microsyst Nanoeng ; 9: 95, 2023.

Article en En | MEDLINE | ID: mdl-37484500

Palabras clave

Electrical and electronic engineering; Electronic devices

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Texto completo: 1 Colección: 01-internacional Base de datos: MEDLINE Tipo de estudio: Prognostic_studies / Qualitative_research Idioma: En Revista: Microsyst Nanoeng Año: 2023 Tipo del documento: Article Pais de publicación: Reino Unido

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