(2+1) resonant multiphoton ionization of sputtered P atoms: Application to the detection of phosphorus in silicon samples.
Phys Rev A
; 41(11): 6225-6232, 1990 Jun 01.
Article
en En
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| ID: mdl-9903022
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Colección:
01-internacional
Base de datos:
MEDLINE
Tipo de estudio:
Diagnostic_studies
Idioma:
En
Revista:
Phys Rev A
Año:
1990
Tipo del documento:
Article