Simple and versatile methods to integrate directed self-assembly with optical lithography using a polarity-switched photoresist.
ACS Nano
; 4(8): 4815-23, 2010 Aug 24.
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de En
| MEDLINE
| ID: mdl-20731456
Texte intégral:
1
Collection:
01-internacional
Base de données:
MEDLINE
Langue:
En
Journal:
ACS Nano
Année:
2010
Type de document:
Article
Pays d'affiliation:
États-Unis d'Amérique
Pays de publication:
États-Unis d'Amérique