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Modeling and in Situ Probing of Surface Reactions in Atomic Layer Deposition.
Zheng, Yuanxia; Hong, Sungwook; Psofogiannakis, George; Rayner, G Bruce; Datta, Suman; van Duin, Adri C T; Engel-Herbert, Roman.
Affiliation
  • Rayner GB; Kurt J. Lesker Company , Pittsburgh, Pennsylvania 15025, United States.
  • Datta S; Department of Electrical Engineering, University of Notre Dame , Notre Dame, Indiana 46556, United States.
ACS Appl Mater Interfaces ; 9(18): 15848-15856, 2017 May 10.
Article de En | MEDLINE | ID: mdl-28380291
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Texte intégral: 1 Collection: 01-internacional Base de données: MEDLINE Type d'étude: Prognostic_studies Langue: En Journal: ACS Appl Mater Interfaces Sujet du journal: BIOTECNOLOGIA / ENGENHARIA BIOMEDICA Année: 2017 Type de document: Article
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Texte intégral: 1 Collection: 01-internacional Base de données: MEDLINE Type d'étude: Prognostic_studies Langue: En Journal: ACS Appl Mater Interfaces Sujet du journal: BIOTECNOLOGIA / ENGENHARIA BIOMEDICA Année: 2017 Type de document: Article