Trimming of silicon ring resonator by electron beam induced compaction and strain.

Schrauwen, J; Van Thourhout, D; Baets, R

Schrauwen, J; Van Thourhout, D; Baets, R.

Afiliação

Schrauwen J; Photonics Research Group, Department of Information Technology, Ghent University - IMEC, B-9000 Gent, Belgium. jonathan.schrauwen@intec.ugent.be

Opt Express ; 16(6): 3738-43, 2008 Mar 17.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-18542468

Assuntos

Desenho de Equipamento/métodos; Óptica e Fotônica/instrumentação; Silício/química; Silício/efeitos da radiação; Elasticidade; Elétrons; Análise de Falha de Equipamento; Teste de Materiais; Estresse Mecânico

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Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Assunto principal: Silício / Desenho de Equipamento / Óptica e Fotônica Idioma: En Revista: Opt Express Assunto da revista: OFTALMOLOGIA Ano de publicação: 2008 Tipo de documento: Article País de afiliação: Bélgica País de publicação: Estados Unidos

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