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Pulse-Atomic Force Lithography: A Powerful Nanofabrication Technique to Fabricate Constant and Varying-Depth Nanostructures.
Pellegrino, Paolo; Bramanti, Alessandro Paolo; Farella, Isabella; Cascione, Mariafrancesca; De Matteis, Valeria; Della Torre, Antonio; Quaranta, Fabio; Rinaldi, Rosaria.
Afiliação
  • Pellegrino P; Department of Mathematics and Physics "Ennio De Giorgi", University of Salento, Via Monteroni, 73100 Lecce, Italy.
  • Bramanti AP; Lecce Labs, STMicroelectronics S.r.l., System Research and Applications (SRA) Silicon Biotech, Via Monteroni, 73100 Lecce, Italy.
  • Farella I; Institute for Microelectronics and Microsystems (IMM), CNR, Via Monteroni, 73100 Lecce, Italy.
  • Cascione M; Department of Mathematics and Physics "Ennio De Giorgi", University of Salento, Via Monteroni, 73100 Lecce, Italy.
  • De Matteis V; Department of Mathematics and Physics "Ennio De Giorgi", University of Salento, Via Monteroni, 73100 Lecce, Italy.
  • Della Torre A; Institute for Microelectronics and Microsystems (IMM), CNR, Via Monteroni, 73100 Lecce, Italy.
  • Quaranta F; Institute for Microelectronics and Microsystems (IMM), CNR, Via Monteroni, 73100 Lecce, Italy.
  • Rinaldi R; Department of Mathematics and Physics "Ennio De Giorgi", University of Salento, Via Monteroni, 73100 Lecce, Italy.
Nanomaterials (Basel) ; 12(6)2022 Mar 17.
Article em En | MEDLINE | ID: mdl-35335805
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Texto completo: 1 Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Revista: Nanomaterials (Basel) Ano de publicação: 2022 Tipo de documento: Article País de afiliação: Itália País de publicação: Suíça
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