High-resolution photometric optical monitoring for thin-film deposition.

Rabady, Rabi; Zinoviev, Kirill; Avrutsky, Ivan.

Afiliação

Rabady R; Department of Electrical and Computer Engineering, Wayne State University, Detroit, Michigan 48202-0000, USA. rrabady@wayne.edu

Appl Opt ; 43(1): 143-8, 2004 Jan 01.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-14714655

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Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2004 Tipo de documento: Article

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