Fabrication of 70 nm-sized zero residual polymer patterns by thermal nanoimprint lithography.

Yang, Ki-Yeon; Kim, Jong-Woo; Byeon, Kyeong-Jae; Lee, Hee-Chul; Lee, Heon.

Afiliação

Yang KY; Department of MSE, Korea University, Anam-dong 5-1, Sungbuk-Ku, Seoul 136-701, Korea.

J Nanosci Nanotechnol ; 9(7): 4194-6, 2009 Jul.

Article em En | MEDLINE | ID: mdl-19916428

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Coleções: 01-internacional Base de dados: MEDLINE Idioma: En Ano de publicação: 2009 Tipo de documento: Article

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